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瑞士Inficon英?？嫡婵沼? CDG025D電容膜片式真空計
INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設(shè)計用于在嚴(yán)酷的制造工具環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能. 先進(jìn)的數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調(diào)零的功能和設(shè)點調(diào)整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供卓越的零點穩(wěn)定性, 以及引起能達(dá)到數(shù)百萬次壓力循環(huán)包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨特的傳感器屏蔽 (專利申請) 保護(hù)真空計防止過程污染. 經(jīng)久耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)提高 EMC 兼容性, 長期穩(wěn)定性和溫度補償能力. CDG025D 為加電源后的快速穩(wěn)定性和暴露大氣后的快速恢復(fù)性設(shè)定新的標(biāo)準(zhǔn).
瑞士Inficon英?？嫡婵沼? CDG025D電容膜片式真空計優(yōu)勢：
全量程范圍從100毫乇 … 1000乇
加電源后快速穩(wěn)定性
從大氣壓的快速恢復(fù)性
抗腐蝕的陶瓷傳感器
卓越的長期訊號穩(wěn)定性
溫度補償
傳感器有防污染保護(hù)
一鍵調(diào)零功能
寬范圍電源
兩個設(shè)點 (可選)
RS232 接口 (可選)
瑞士Inficon英?？嫡婵沼? CDG025D電容膜片式真空計用途：
半導(dǎo)體制造設(shè)備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD
數(shù)據(jù)貯存和顯示器制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
一般高精度壓強測量
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