主營產(chǎn)品：上海諧波減速機(jī)|哈默納科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 詳細(xì)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號(hào) | CSF-17-50-2UH, |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 強(qiáng)沖擊載荷 |
| 傳動(dòng)比級(jí)數(shù) | 單級(jí) | 軸的相對(duì)位置 | 臥式減速器 |
| 傳動(dòng)布置形式 | 同軸式 | 加工定制 | 是 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 樣品 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 三環(huán)式 | 用途 | 變速機(jī) |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | 額定功率 | 15kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 111rpm | 許用扭矩 | 52000N.m |
| 使用范圍 | 機(jī)械設(shè)備 | 減速比 | 232 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
磁場、真空抽放氣系統(tǒng)、配氣系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)，真空抽 放氣系統(tǒng)由機(jī)械泵、日本HD精密半導(dǎo)體諧波CSF-17-50-2UH擴(kuò)散泵和相應(yīng)管道、閥門組成，其特征是真空室由等離日本HD精密半導(dǎo)體諧波CSF-17-50-2UH子體發(fā)生室，等離子體約束室，處理室組成，等離子體發(fā)生室外套有兩組串接的磁場線 圈，在等離子體約束室周圍均布永久磁鋼，處理室內(nèi)裝有基片架。
去膠機(jī) 用于半導(dǎo)體集成電路、太陽能電池以及功率器件等日本HD精密半導(dǎo)體諧波CSF-17-50-2UH刻蝕、去膠工藝，刻蝕方式為等離子體各向同性刻蝕。 擴(kuò)散爐 半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對(duì)晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備
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