產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品名稱：ENTEGRIS-化學過濾器-VaporSorb FAC
產(chǎn)品型號：VaporSorb FAC
產(chǎn)品介紹：VaporSorb系列混合化學空氣過濾器旨在為 22 納米以下節(jié)點的先進半導體制造環(huán)境提供保護。 Entegris VaporSorb 過濾器有助于降低高流量設施應用中不需要的空氣分子污染 (AMC) 水平。 Entegris VaporSorb FAC 過濾器可針對任何類型的空氣處理裝置安裝進行配置，并且特別適合補充空氣 (MUA) 和回風處理 (RAH) 應用。 Entegris VaporSorb FAC 過濾器使用我們廣泛的潔凈室環(huán)境水平數(shù)據(jù)庫設計，以提供大的效率和污染物去除。
性能特點：
提供保護，防止強酸和弱酸以及有機物和堿（如氨），減少晶圓缺陷，提高產(chǎn)量并延長設備正常運行時間
具有優(yōu)化的吸附劑混合物的特定應用過濾器針對并去除每個工藝工具關(guān)注的污染物，大限度地減少介質(zhì)浪費并延長使用壽命
任何 FFU、工具內(nèi)、設備工廠接口或過程模塊安裝的靈活配置簡化了安裝和集成
Entegris 擁有的過濾器制造為特定于晶圓廠的優(yōu)化介質(zhì)提供快速周轉(zhuǎn)
上海連航機電科技有限公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件，提供過程控制技術(shù)詢問，工業(yè)自動化集成設計與改造，成套設備與技術(shù)引進等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國和美國設立了公司和倉儲，一舉鞏固了采購能力，擴大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢，進而提升了終端服務效率與水平。
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