產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 氣浮導(dǎo)軌，超高性能精度 ? 重復(fù)定位精度±15nm（Sic版）
l ? 平面式氣浮結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)誤差影響 ? 直線度優(yōu)于1μm
l ? 龍門(mén)式雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力強(qiáng) ? Z軸納米級(jí)定位抖動(dòng)
l ? 高速，快速的整定時(shí)間 ? 可選激光尺位置反饋
l ? 可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌 ? 優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)
應(yīng)用領(lǐng)域
QFHDS系列三軸超精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，XY軸平面式氣浮結(jié)構(gòu)，Z軸交叉滾柱結(jié)構(gòu)，用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)、微納加工等行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
XY軸運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)共面，兩軸的反饋機(jī)構(gòu)在同一個(gè)水平面，相當(dāng)于單軸運(yùn)動(dòng)，不存在因疊層引起的阿貝誤差，此結(jié)構(gòu)提升動(dòng)態(tài)跟蹤誤差，高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，開(kāi)發(fā)的氣浮軸承補(bǔ)償方法，提高剛性和負(fù)載能力，以滿足高動(dòng)態(tài)響應(yīng)的要求，可實(shí)現(xiàn)快速運(yùn)動(dòng)和極速位置整定。Z軸交叉滾柱導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，安裝到龍門(mén)橫梁上，亞微米級(jí)精度，定位抖動(dòng)優(yōu)于20nm。更高要求可接受定制，瑞邦精控提供系統(tǒng)解決方案，對(duì)環(huán)境要求提供專業(yè)建議。
直驅(qū)設(shè)計(jì)
采用無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了超平穩(wěn)的運(yùn)動(dòng)。步進(jìn)軸和掃描軸安裝位置接近于負(fù)載水平面，以提高直線度、平面度和傾角誤差等。
其他
使用高質(zhì)量的電纜，帶屏蔽功能，防止電子信號(hào)的干擾，優(yōu)化管線的彎曲半徑，防止動(dòng)作過(guò)程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能。根據(jù)應(yīng)用，可安裝旋轉(zhuǎn)臺(tái)，傾角臺(tái)或晶圓裝卸用的夾具等?？砂惭b激光尺或激光干涉儀閉環(huán)反饋，提升系統(tǒng)精度性能。
規(guī)格指標(biāo)
|
型號(hào) |
單位 |
QFHDS-300-300-50 |
QFHDS-400-400-100 |
QFHDS-500-500-200 |
|||||||
|
軸系 |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
|
行程 |
mm |
300 |
300 |
50 |
400 |
400 |
100 |
500 |
500 |
200 |
|
|
補(bǔ)償后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.25 |
±0.1 |
±0.25 |
±0.15 |
|||
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.3 |
|||||
|
雙向重復(fù)定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.025 |
±0.075 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.05 |
|||
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±0.1 |
±0.05 |
±0.15 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
|||||
|
直線度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.2 |
±0.25 |
±0.5 |
±0.35 |
±0.5 |
±0.75 |
|||
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
|||||
|
平面度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.2 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
|||
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
|||||
|
Pitch Roll Yaw (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±2 |
±1 |
±3 |
|||
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
±1 |
±5 |
±1.5 |
±5 |
±1.5 |
±7 |
|||||
|
正交性 |
Plus (1) |
arc sec |
2 |
5 |
2 |
5 |
2 |
5 |
|||
|
標(biāo)準(zhǔn)值 |
5 |
10 |
5 |
10 |
5 |
10 |
|||||
|
電子分辨率 (3) |
nm |
0.3 或 5（選配） |
|||||||||
|
最大速度 (空載) (4) |
m/s |
1 |
0.1 |
1 |
0.2 |
1 |
0.2 |
||||
|
最大加速度 (空載) (4) |
m/s2 |
5,（10, 20, 30 定制） |
5 |
5,（10, 20, 30 定制） |
5 |
5,（10, 20, 30 定制） |
5 |
||||
|
最大負(fù)載 |
kg |
20 |
15 |
20 |
15 |
20 |
15 |
||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。
