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等離子體清洗機(jī)應(yīng)用于半導(dǎo)體,厚膜電路,元器件封裝前,COG前工序,LED后工序,真空電子,連接器和繼電器等行業(yè)的的活化,以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等.

等離子清洗機(jī)工作原理：

等離子體清洗機(jī)原理是在真空狀態(tài)下使電極之間形成高頻交變電場(chǎng)，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場(chǎng)的激蕩下，形成等離子體，活性等離子對(duì)被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子，和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)抽真空排出，而達(dá)到清洗目的。

等離子體清洗機(jī)作為一種精密干法清洗設(shè)備，應(yīng)用于半導(dǎo)體、厚膜電路、元器件封裝前、COG前工序、LED后工序、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗、塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。

特點(diǎn)：

1． 所有關(guān)鍵部件全部采用進(jìn)口，確保設(shè)備運(yùn)行壽命和產(chǎn)品質(zhì)量。

2． PLC或工控機(jī)控制，工藝參數(shù)、運(yùn)行時(shí)間、工藝過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)視并顯示運(yùn)行狀態(tài)包括自動(dòng)模式和手動(dòng)模式

3． 清洗時(shí)間、基礎(chǔ)壓力、功率、流量設(shè)定可調(diào)

4． 工作氣體壓力低、壓縮空氣壓力低、泵熱過(guò)載、反應(yīng)倉(cāng)泄露、反射功率過(guò)大報(bào)警。

5． 可根據(jù)客戶工藝定制（在線式）等離子體清洗機(jī)。

大氣等離子實(shí)驗(yàn)報(bào)告

采用大氣旋轉(zhuǎn)等離子表面處理設(shè)備，在除處理速度不同其他參數(shù)全部一致的條件下對(duì)比不同處理速度下對(duì)樣品處理的效果

測(cè)試單位 廣東達(dá)因特

大氣旋轉(zhuǎn)等離子清洗方案

設(shè)備配置

設(shè)備型號(hào)(L)

SPA2800

使用氣體

壓縮空氣

氣壓及功率

氣壓（MP/s）

0.23

功率(W)

900

清洗速率(mm/s)

100與200

其他

無(wú)

處理結(jié)果

實(shí)驗(yàn)一

速率及平均值

100mm/s（處理一次）

平均角

200mm/s（處理兩次）

平均角

處理前接觸角

108.5

107.3

107.9

107.9

105.5

108.6

107.3

107.1

處理后接觸角

33.2

30.7

37

33.6

29.5

27.5

27.5

28.1

實(shí)驗(yàn)二

速率及平均值

50mm/s（處理一次）

平均角

100mm/s（處理兩次）

平均角

處理前接觸角

110.8

106.6

103

106.8

105.5

102.4

105

104.3

處理后接觸角

20.3

26.6

16.7

21.2

16.5

17.1

17.7

17.1

實(shí)驗(yàn)結(jié)論：?jiǎn)螐膶?shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)來(lái)看，處理效率相同的情況下，清洗速度越快清洗效果越好，且均勻性也稍強(qiáng)于前者

測(cè)試人員

肖功明

完成日期

2018.4.9

附件(大氣等離子設(shè)備簡(jiǎn)介)