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真空晶圓傳輸模塊 Wafer Vacuum Transfer Module (VTM300)

來自泓滸(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司

¥1200000.00

發(fā)布時(shí)間 2024-09-04 09:26:54 關(guān)注次數(shù) 76

泓滸(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司

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Wafer Vacuum Transfer Module (VTM)

The Vacuum Transfer Module (VTM) is used in vacuum processes such as wafer etching, deb (CVD, PVD, ALD), etc. Due to the bent requirements of the process environment, the transfer equipment VTM needs to meet ultra-high vacuum, ultra-low vibration, corrosion resistance, high-temperature resistance, and other requirements.

Item	HH400	HH500	HH600	HH700	HH800
Frame	Welded tubular construction with support,The surface is coated with white paint
Wafer Transport Plane	1100mm(Per SEMI std.E 21-91)
Process Facets	1100mm(Per SEMI std.E 21-91)
Process Facets	Up to 3	Up to 3	Up to 4	Up to 5	Up to 6
Vacuum Robot	HHVRD3/4	HHVRD3/4	HHVRD3/4	HHVRD3/4	HHVRD3/4
Arm Blade	Customized according to customer specifications,;Optional:1 Blade,2 Blade and 4 Blade;Material optional
Load Locks	Provides Load Locks(1 or 2) and Slot(1 or 2 or 4 etc) Number customization
Lid	View Ports Optional	Lid Lift Mechanism	Lid Lift Mechanism	Lid Lift Mechanism	Lid Lift Mechanism
Lid	Option:Cooling Station,VPA Station or Separating Station
Optional Chamber	Option:Cooling Station,VPA Station or Separating Station
AWC	< 0.05mm	< 0.05mm	< 0.05mm	< 0.05mm	< 0.05mm
Base Vacuum	5 x 10?8 Torr	5 x 10?8 Torr	5 x 10?8 Torr	5 x 10?8 Torr	5 x 10?8 Torr
Leak Rate	<1 x10?9std.cc/sec He	<1 x10?9std.cc/sec He	<1 x10?9std.cc/sec He	<1 x10?10std.cc/sec He	<1 x10?9std.cc/sec He

品牌HONGHU

型號(hào)HHHonghuself-researched

類型晶圓傳輸模塊

材料碳鋼

加工定制是

產(chǎn)品認(rèn)證ISO9001ISO14001SEMIS2

泓滸(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司

公司類型私營(yíng)有限責(zé)任公司
經(jīng)營(yíng)模式生產(chǎn)加工-私營(yíng)有限責(zé)任公司
聯(lián)系人蘇一
聯(lián)系手機(jī)17361797118
聯(lián)系固話-17361797118
公司地址

主營(yíng)業(yè)務(wù)

EFEM/SORTER/VTM/SMIF/ROBOT/CONTROLLER/LOADPORT/VPA

泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司于2016年在蘇州成立，公司致力于半導(dǎo)體自動(dòng)化裝備和核心部件的國(guó)產(chǎn)化研發(fā)及制造。公司自主研制的晶圓傳輸設(shè)備SORTER/EFEM及真空傳送模塊VTM，已經(jīng)廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體集成電路制造工廠。公司提供行業(yè)領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)手臂翻新維護(hù)技術(shù)服務(wù)、耗材及配件貿(mào)易服務(wù)。

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