產(chǎn)品詳情
關(guān)鍵詞：晶化退火爐 晶化退火設(shè)備 晶化快速退火爐
嘉儀通晶化快速退火爐RTP-3-01系列采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到好的溫場(chǎng)均勻性，對(duì)薄膜材料進(jìn)行晶化快速退火處理，提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
晶化快速退火爐產(chǎn)品特點(diǎn)：
快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s，特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率，特定條件下可達(dá)30 ℃/s。
精確控溫: 采用工業(yè)級(jí)溫控器進(jìn)行PID精確控溫，目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高，可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮?dú)?、氬氣等）。同時(shí)，通過(guò)選配真空泵，可以在真空條件下進(jìn)行退火，真空度可達(dá)10-3Pa。
配備觀察窗口: 通過(guò)觀察窗口，可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過(guò)程中的樣品變化。同時(shí)，可以結(jié)合相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行原位測(cè)試分析。
安全系數(shù)高: 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng)，多方位保障儀器使用安全。
國(guó)產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。
晶化快速退火爐技術(shù)參數(shù)：
|
型號(hào) |
RTP-3-01系列 |
|
溫度 |
1200℃ |
|
升溫速率 |
50℃/s |
|
溫度均勻性 |
≦1%設(shè)定溫度 |
|
溫度控制 |
選用工業(yè)級(jí)溫控器，控溫精度±0.1℃ |
|
溫度傳感器 |
標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶 |
|
降溫速率 |
1200℃→400℃，200℃/min 400℃→100℃，20℃/min （自然冷卻） |
|
樣品尺寸 |
W20 x L20 x T2 (mm) |
|
主機(jī)尺寸 |
W420X L320X H220 (mm) |
|
主機(jī)重量 |
20.5kg |
晶化快速退火爐客戶案例：
清華使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火，得到晶相一致晶粒較小的晶體，提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
