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哈默納科正負光阻諧波傳動CSF-17-80-2A-R

數量(臺)	價格
100	34580.00元/臺

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發(fā)貨地址：上海嘉定區(qū)
發(fā)布日期：2024-04-16
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上海浜田實業(yè)有限公司

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詳細參數
品牌	HarmonicDrive	型號	CSF-17-80-2A-R
類型	諧波減速器	載荷狀態(tài)	中等沖擊載荷
傳動比級數	單級	軸的相對位置	立式加速器
傳動布置形式	分流式	加工定制	是
樣品或現貨	樣品	齒面硬度	軟齒面
布局形式	三環(huán)式	用途	變速機
輸入轉速	3000rpm	額定功率	360kw
輸出轉速范圍	50rpm	許用扭矩	691N.m
使用范圍	化工	減速比	4543
產地	日本

產品詳情

微影光蝕刻術起源于照相制版的技術。自1970年起，哈默納科正負光阻諧波傳動CSF-17-80-2A-R 才大量使用于半導體制程之圖形轉寫復制。原理即利用對紫外線敏感之聚合物，或所謂光阻（photo-resist）之受曝照與否，來定義該光阻在顯影液（developer）中是否被蝕除，而最終留下與遮掩罩幕，即光罩（mask）哈默納科正負光阻諧波傳動CSF-17-80-2A-R相同或明暗互補之圖形；相同者稱之「正光阻」(positiveresist)，明暗互補者稱之「負光阻」(negativeresist)，如圖2-6所示。一般而言，正光阻，如AZ-1350、AZ-5214、FD-6400L等，其分辨率及邊緣垂直度均佳，但易變質，儲存期限也較短(約半年到一年之間)，常用哈默納科正負光阻諧波傳動CSF-17-80-2A-R于學術或研發(fā)單位；而負光阻之邊緣垂直度較差，但可儲存較久，常為半導體業(yè)界所使用。