絕緣材料表面和體積電阻率測試儀

一.雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法并參考美國A.S.T.M。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響.

二.概述：采用四端測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，實驗室；是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具?？膳渲貌煌瑴y量裝置測試不同類型材料之電阻率。液晶顯示，溫度補償功能，自動量程，自動測量電阻，電阻率，電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。恒流源輸出；選配：PC軟件過程數(shù)據(jù)處理和電阻校準(zhǔn)儀器，薄膜按鍵操作簡單，中文或英文兩種語言界面選擇，電位差計和電流計或數(shù)字電壓表，量程為1mVˉ100mV,分辨率為0.1%，直流輸入阻抗不小250μm的半球形或半徑為50 μm~125 μm的平的圓截面。

1.依據(jù)不同之測試樣品，選擇被測試電流，電流設(shè)置：按方向鍵移動光標(biāo)至“電流”功能，按“設(shè)置”鍵進入；再按“左右”方向鍵選擇電流數(shù)據(jù)，選擇完畢后按“確定”鍵進行確認。

2.按照以上步驟和方法選擇電壓、長度單位、探針形狀設(shè)定、溫度.

3.探針間距數(shù)據(jù)的輸入，探針間距出廠時已經(jīng)標(biāo)定，無需再次測量，探針頭上有詳細的探針數(shù)據(jù)資料，探針間距的設(shè)置：將光標(biāo)移動至“探針間距”按“設(shè)置”鍵進入，通過面板上面的“數(shù)字”按鍵輸入數(shù)據(jù)按“確定”鍵進行確認；按照以上方法和步驟設(shè)定”厚度“，注意厚度和探針間距修正系數(shù)表已經(jīng)設(shè)置在儀器程序中，自動修正，無需再次輸入和查詢表格。

4.測試探頭和測試平臺操作

1）選配測試平臺的將被測物放在測試平臺上，調(diào)節(jié)探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內(nèi)腔有彈簧；

2）探頭有方型和直線型兩種結(jié)構(gòu)；調(diào)節(jié)測試平臺上的水平定位角，保證水平儀水準(zhǔn)在中心位置；放置好被測物品，后壓下探頭至被測物，帶數(shù)據(jù)穩(wěn)定后讀取方阻測試時，在測試時電流的選擇也不同根據(jù)國標(biāo)GB/T1552-1995和根據(jù)ASTM F374-84方法測量方塊電阻所需要的電流值如下表所示

3）測量方塊電阻所需要的電流值如下所示：

方塊電阻（Ω/□）：0---1.2                  電流量程：100mA

方塊電阻（Ω/□）：1---25                   電流量程：10 mA

方塊電阻（Ω/□）：20---250               電流量程：1 mA

方塊電阻（Ω/□）：200---2500           電流量程：100μA

方塊電阻（Ω/□）：2000---25000       電流量程：10μA

方塊電阻（Ω/□）：20000---250000   電流量程：1μA

方塊電阻（Ω/□）：>200000                電流量程：0.1μA

四.儀器安裝要點安裝簡介：

1.拆封和檢查產(chǎn)品是包裝在一個使用木箱泡綿保護的包裝箱內(nèi)，如果收到時的包裝箱有破損，請檢查機器的外觀是否有無變形、刮傷、或面板損壞等。

2.如果有損壞，請立即通知制造廠或其經(jīng)銷商。并請保留包裝箱和泡綿，以便了解發(fā)生的原因。我們的服務(wù)中心會幫您解決。在未通知制造廠或其經(jīng)銷商前，請勿立即退回產(chǎn)品。

3.使用前的準(zhǔn)備 輸入電壓輸入220V，有穩(wěn)定的電流和電壓環(huán)境

使用的周圍環(huán)境條件

易燃易爆空氣環(huán)境            

不穩(wěn)定的工作臺面.

陽光直射的地方.             

潮濕的地方.

腐蝕性的空氣環(huán)境.          

空氣污染灰塵重.

4.儲存和運輸周圍環(huán)境儀器可以在下列的條件下儲存和運輸：

周圍溫度：10°到60°C

高度：7620公尺（25000英尺）

5.本機必須避免溫度的急劇變化，溫度急劇變化可能會使水氣凝結(jié)于機體內(nèi)部。

五.維護和保養(yǎng)：

1.使用者的維護為了防止意外發(fā)生，請不要接觸機內(nèi)部件。本機器內(nèi)部所有的零件，絕對不需使用者的維護。如果機器有異常情況發(fā)生，請直接與百川宏宇儀器公司廠家聯(lián)系或其經(jīng)銷商給予維護。使用者的修改使用者不得自行更改機器的線路或零件，如被更改機器后保修則自動失效并且本公司不負任何事故責(zé)任。

2.在保修內(nèi)使用未經(jīng)我公司認可的零件或附件造成故障也不予保證。如發(fā)現(xiàn)送回檢修的機器被更改，將機器的電路和零件修復(fù)回原來設(shè)計的狀態(tài)，并收取修護費用。

3.測試工作站工作位置工作站的位置選擇必須安排在一般人員非必經(jīng)的處所，使非工作人員選離工作站。如果因為條件限制的安排而無法做到時，必須將工作站與其這它設(shè)施隔開并且特別標(biāo)明“測試工作站”。如果工作站與其它作業(yè)站非常接近時，必須特別注意安全的問題。

4.在測試時必須標(biāo)明“測試執(zhí)行中，非工作人員請勿靠近”