產(chǎn)品詳情
廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210/PDC510，均勻性高的電極構(gòu)造，操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器，適用于研究開(kāi)發(fā)的小型等離子清洗機(jī)。
儀器特點(diǎn)：
DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）。
RIE模式。
均勻性高的電極構(gòu)造。
操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器。
|
型號(hào) |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
|
|
等離子模式 |
RIE（DP模式選配） |
|||
|
電極構(gòu)造 |
平行平板（固定） |
|||
|
高頻輸出 |
Max300W |
Max500W |
||
|
頻率 |
13.56MHz |
|||
|
反應(yīng)腔尺寸 |
W400xD250Lx150mm |
W500xD300Lx200mm |
||
|
電極尺寸 |
W250xD170mm |
W400xD200mm |
||
|
反應(yīng)室材質(zhì) |
2系統(tǒng)（Ar、O2） |
|||
|
填充氣體 |
N2或干燥空氣 |
|||
|
反應(yīng)氣體流量控制 |
流量計(jì) |
聚合控制器 |
||
|
真空泵 |
另行選配 |
油泵（約345L/分）標(biāo)配 |
油泵（500L/分）標(biāo)配 |
|
|
氣體導(dǎo)入口 |
反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè) |
|||
|
外形尺寸 |
W540xD600xH600mm |
W540xD600xH600mm |
W700xD700xH1285mm |
|
|
重量 |
約100KG |
約105KG |
約180KG |
|
|
電源 |
單相AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
|
雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC200/PDC210/PDC510信息由廣州金程科學(xué)儀器有限公司為您提供，如您想了解更多關(guān)于等離子清洗機(jī)的信息，歡迎來(lái)電咨詢(xún)。
