主營產(chǎn)品：實驗室儀器設(shè)備，半導(dǎo)體封測設(shè)備
15021401934（銷售）
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| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Diener | 型號 | FEMTO |
| 類型 | 等離子清洗機 | 用途 | 其他 |
| 加工定制 | 是 | 清洗方式 | 等離子干法清洗 |
| 動力 | 發(fā)生器 | 電源 | 220V |
| 功率 | 100W,300W | 外形尺寸 | W310,D420,H330mm |
| 原理 | 等離子 | 工作頻率 | 13.56MHz,40KHz,100khz |
| 工作電壓 | 220V | 規(guī)格 | 2.2L |
| 輸出功率 | 300W | 外形尺寸 | W310,D420,H330mm |
| 重量 | 45KG | 產(chǎn)地 | 德國 |
等離子清洗機FEMTO
等離子工藝除清洗與活化外，還具有蝕刻與涂層
的功能。可以應(yīng)用于多種領(lǐng)域。
l 硅蝕刻
l PTFE蝕刻
l 去除光刻膠
l 提高耐溫塑料對于涂料和粘結(jié)劑的附著性
l 疏水層的沉積
l 親水層的沉積
l 保護或絕緣層的沉積
l 防擴散層
主要技術(shù)參數(shù)：
1. 全自動控制
2. *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強、氣體流量，時間等參數(shù)
3. 單路工作氣體，氣體流量通MFC流量計控制
4. 反應(yīng)艙為不銹鋼，?100 mm*L278mm，容積約為2.2L
5. 射頻頻率13.56MHz,功率0~100W
6. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
7. 運行模式為手動
8. 真空泵的排氣能力為4m3/Hour，配有強制進氣閥
9. *配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
10. 外尺寸：W310*D420*H330mm
11. 電源電壓：單相AC230V 16A
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