產(chǎn)品詳情
青島平山技研ANELVA真空計M-311HG
寬壓力測量范圍
10-7Pa~10Pa,不犧牲高真空側(cè)的特性,可以測量到超過濺射工藝的低真空區(qū)域
高響應(yīng)模擬輸出
壓力值的模擬信號輸出確保100msec以內(nèi)的高響應(yīng)性,也可用于過程壓力控制
4個發(fā)射電流設(shè)定模式
在高壓區(qū)域側(cè)使用時的燈絲壽命改善等,可以根據(jù)用途進(jìn)行選擇
青島平山技研ANELVA真空計M-311HG