產(chǎn)品詳情
工作原理
渦輪分子泵轉(zhuǎn)子是一個帶葉片的渦輪，快速旋轉(zhuǎn)的葉片將動量傳輸給氣體分子，將起初無方向性的熱運動變成有定向運動。
渦輪分子泵的抽氣過程就是使氣體分子從進氣口法蘭定向運動到前級真空口。
在分子流范圍——也就是在低于10-3mbar(0.75 x 10-3 Torr)的壓強時，氣體分子的平均自由行程大于轉(zhuǎn)子與定子葉片之間的間距(典型為十分之零點幾毫米)，分子主要與轉(zhuǎn)子葉片碰撞，所以
抽氣過程非常高效。
在粘滯流范圍，也就是壓強超過10-1mbar(0.75 x 10-1 Torr)，情況則*不同，分子間的頻繁碰撞降低了轉(zhuǎn)子的效率。因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下工作，需要適當抽速的前級真空泵。
為了使氣體分子產(chǎn)生定向運動，轉(zhuǎn)子葉片的末端的線速度必須足夠大。所以，轉(zhuǎn)子也要有相應(yīng)的高轉(zhuǎn)速。對于萊寶真空的渦輪分子泵而言，較大直徑轉(zhuǎn)子（例如 TURBOVAC 1000 ，大約20cm(7.87in.)）的轉(zhuǎn)速大約為36000rpm，而較小直徑轉(zhuǎn)子（例如TURBOVAC50，大約6cm(2.36in.)）的轉(zhuǎn)速為72000rpm。
