主營產(chǎn)品：上海諧波減速機|哈默納科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 詳細參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型號 | CSG-45-160-2UH |
| 類型 | 諧波減速器 | 載荷狀態(tài) | 中等沖擊載荷 |
| 傳動比級數(shù) | 雙級 | 軸的相對位置 | 臥式減速器 |
| 傳動布置形式 | 同軸式 | 加工定制 | 否 |
| 樣品或現(xiàn)貨 | 現(xiàn)貨 | 齒面硬度 | 軟齒面 |
| 布局形式 | 擺線式 | 用途 | 減速機 |
| 輸入轉(zhuǎn)速 | 1500rpm | 額定功率 | 5.5kw |
| 輸出轉(zhuǎn)速范圍 | 140rpm | 許用扭矩 | 52000N.m |
| 使用范圍 | 機械設(shè)備 | 減速比 | 242 |
| 產(chǎn)地 | 日本 | ||
這個過程對IC制程也是一個潛在的污染過程，在形成金屬互連的同時，哈默納科微機系統(tǒng)諧波CSG-45-160-2UH 也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。
原生氧化物及化學(xué)氧化物
硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層，稱哈默納科微機系統(tǒng)諧波CSG-45-160-2UH為原生氧化層。硅晶圓經(jīng)過SC-1和SC-2溶液清洗后，由于雙氧水的強氧化力，在晶圓表面上會生成一層化學(xué)氧化層。為了確保閘極氧化層的品質(zhì)，此表面氧化層必須在晶圓清洗過后加以去除。另外，在IC制程中采用化學(xué)汽相沉積法（CVD）沉積的氮化哈默納科微機系統(tǒng)諧波CSG-45-160-2UH硅、二氧化硅等氧化物也要在相應(yīng)的清洗過程中有選擇的去除。
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